是一款智能多路配气仪器，利用质量流量控制原理将标准气体与稀释气体按照一定比例进行配比、混合并输出设定浓度气体。根据使用条件的不同，高压混合气体配比装置可在高压的条件下使用或是把混合后的气体经过加压，冲入高压钢瓶使用。
主要功能特点：
1、采用高精度质量流量控制器，优良的重复性和稳定性能精确控制气体流量
2、多路配气通道，可进行两种或三种气体混合配气或单独使用其中某一路通道。
3、配气响应时间快，能快速稳定的气体流量调整气体的浓度。
4、操作界面简洁，人机交互友好，可支持拓展物联网功能。
应用行业：
广泛应用于SPUTTER磁控溅射台、等离子刻蚀、石油化工、高校实验室、科研单位、航空航天、光伏行业、半导体行业、真空镀膜行业、光电产业到工业工具的表面镀膜、PVD、CVD、MOCVD、氧化、离子注入、精密半导体、燃料电池、气调储存保鲜相关设备、生物反应器、生物过程控制器、食品及制药产业、气相色谱仪等相关行业。
