数显式中量程热式气体质量流量控制器/流量计BDD-S030C/B1000M
产品简介:
主要应用在量程范围从5SCCM--1500SLM之间气体流量的测量和控制,产品最大耐压能达10Mpa,采用新型传感制作工艺,具有响应速度快、准确度高、流量控制稳定、耐压高、线性度好等优点,适用于绝大多数干燥、干净的气体(及少数腐蚀性气体)。
产品特点:
1、本体数显操作方便 2、耐压3Mpa或10MPa
3、抗干扰性强 4、宽压力范围
5、流量控制精准 6、数据传输距离远
技术参数:
气体质量流量控制器/流量计出厂通常用氮气(N2)标定。
质量流量单位:SCCM(标准毫升每分钟) SLM(标准升每分钟)
标准状况:温度--293.15K(20℃) 压力--101325Pa(760mmHg)
F.S(Full Scale)表示满量程
应用行业:
真空镀膜设备、半导体工艺设备、化学与化工实验设备、食品科学与工程设备、能源与环境保护设备、各种分析仪器设备、表面处理、真空冶金及材料工艺、高校及科研院所实验室设备。