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半导体行业使用的热式气体质量流量控制器

  • 半导体行业使用的热式气体质量流量控制器

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   成都松盛测控技术有限公司生产和销售的半导体行业使用的热式气体质量流量控制器(MFC)是芯片制造中的核心设备,用于精确控制工艺气体的流量,气体质量流量的精准控制是能够直接影响芯片的良率和性能‌。气体流量控制器其核心功能是通过传感器实时测量气体流量,并自动调节阀门,将流量稳定在设定值。

气体质量流量控制器AC-S030C

   本公司数字型和模拟型的产品采用全新的进口传感技术以及高精度的机械加工技术,能实现微小流量测量和控制,其特点是可靠性高、重复性好,压损小,无可动部件,量程比宽,响应时间较快,测量精度高,无需要温度压力补偿,广泛应用于轻工化工环保及半导体等工业部门的空气、氧气、氩气、氮气等气体的检测和控制。 

气体流量控制器

   本产品结合国外先进技术,采用新型传感制作工艺,具有响应速度快、准确度高、流量控制稳定、压力范围宽、线性度好等优点,适用于绝大多数干燥、干净的气体(及少数腐蚀性气体)。一般配套显示仪表使用,用户在订购产品时,本公司已将显示仪表按照使用量程调整设置,在用户现场直接使用即可,还可一表多用,具体使用方法,可以咨询本公司的工作人员。

数字质量流量控制器

X半导体行业使用的热式气体质量流量控制器-

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