超大流量动态配气装置
产品介绍
SSGM-2超大流量动态配气装置搭载多路高精度质量流量控制器，采用动态连续混合工艺，可实现多路气体实时、大流量、连续配比输出；内置闭环浓度反馈系统，自动补偿气体压力、温度波动，搭配大容量静态混合腔保障气体均质，支持百分比至 ppm 级宽浓度区间自由设定，实现气氛在线精 准调控。
产品核心特点
1.超大流量输出：量程覆盖数十至数千 SLM，满足产线、中试设备连续大耗气需求，多支路同步供气。
2.配比精度稳定：MFC 流量精准控制，配套出口浓度在线监测闭环纠偏，长时间运行浓度漂移极小，混合均匀 无分层。
3.智能可编程控制：触控屏一键设定配比、总流量，多组工艺配方存储调用；支持 RS485 通讯对接工厂 PLC， 远程监控、数据记录可追溯。
4.工况适配性强：动态实时调节浓度，可做梯度、变气氛程序运行；模块化结构，扩容、更换气体组分便捷， 适配车间高温多尘环境。
应用行业
热加工 / 金属制造、新能源与催化化工、环保检测、真空镀膜 / 半导体、航空航天、材料科研、特种装备等。
