氧氟气体动态配气及浓度在线分析一体化装置
产品概述
SSGM 氧氟动态配气 + 在线分析一体化系统，是松盛测控针对氟气、氧气等高活性、强腐蚀特种气体开发的闭环配气解决方案。系统依托进口 MFC 质量流量控制核心，实现多路气源动态连续配比、均匀混气、实时取样检测、浓度闭环自校正，解决传统静态标气配比漂移、氟气吸附损耗、浓度仅靠理论计算无法核验、批次一致性差等痛点。
产品特点：
1.动态配气：氧气、氟气、惰性载气多路独立气源，由进口 MFC 精准计量控流，主控按目标浓度自动换算流量，在专用静态混合腔连续混匀，支持梯度、恒定、循环时序配气，稀释比可调。
2.在线闭环校正：混合气分流进入取样预处理单元，氧、氟专用分析仪实时检测组分浓度；实测浓度信号回传 PLC 主控，系统对比设定值自动微调各路 MFC 流量，补偿温度、压力、管壁吸附带来的浓度偏差，闭环模式大幅提升浓度长期稳定性。
3.安全联锁逻辑：氟气独立气路、单向阀防倒灌，集成压力超限、流量异常、泄漏监测、浓度超标联锁切断、声光报警，操作日志全程留存。
应用行业：整套系统分为动态配气单元与在线浓度分析单元，气路采用抗氟钝化 316L 低吸附处理，即配即用，无需高压预混气瓶，输出浓度可溯源、可记录，适配半导体氟化工艺、绝缘气体老化试验、氟化材料改性、氟 / 氧传感器标定、科研氟化气氛模拟等场景。
