产品简介:
高压气体动态稀释装置SSGM-3产品采用全数字架构,新型的传感制作工艺,保证了产品的精度和准确度,兼容数模多种通讯方式,一键切换通讯信号,操作简单方便,更好的保证了流量测控的稳定以及更快的相应速度,支持本地和远程操作控制。
中文名:高压气体动态稀释装置 英文名:SSGM-3
产品特点:
1、复现性优良,比例稳定
2、为纯机器结构,使用寿命长,安全可靠
3、设计紧凑,带PID独立集成控制器,控制快速又稳定;
4、产品后期的可扩展性和延展性强
产品总结:
广泛应用于SPUTTER磁控溅射台、等离子刻蚀、石油化工、高校实验室、科研单位、航空航天、光伏行业、半导体行业、真空镀膜行业、光电产业到工业工具的表面镀膜、PVD、CVD、MOCVD、氧化、离子注入、精密半导体、燃料电池、气调储存保鲜相关设备、生物反应器、生物过程控制器、食品及制药产业、气相色谱仪等相关行业。